微波助力半導(dǎo)體研究

點擊次數(shù)：1034 更新時間：2023-08-18

當(dāng)下,，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)備受關(guān)注，在新能源汽車,、光伏,、儲能等需求帶動下，第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展,。

半導(dǎo)體材料處于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的上游環(huán)節(jié),，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基石。其產(chǎn)業(yè)規(guī)模大,、細分行業(yè)多,。

其中，半導(dǎo)體膜是由半導(dǎo)體材料形成的薄膜,。根據(jù)制備半導(dǎo)體薄膜的技術(shù)不同,，在結(jié)構(gòu)上可分為單晶、多晶和無定形薄膜,。

探索最適合的消解參數(shù),，有利于后續(xù)對多種無機元素的快速準(zhǔn)確測定,。

實驗方案

儀器

新儀 MASTER-18 微波消解儀、趕酸器,、分析天平(十萬分之一)等

試劑

硝酸(68%),，氫氟酸（40%）

實驗方法

精確稱取半導(dǎo)體薄膜材料50 mg（精確至0.1 mg），緩慢滴加8 mL 硝酸（劇烈反應(yīng),，釋放氣體）,，靜置10 min 左右，待無明顯反應(yīng)后,，補加2 mL 氫氟酸,，組裝消解罐，按照如下設(shè)置參數(shù)進行實驗：

階段	溫度/℃	時間/min	功率/W
1	150	10	400
2	180	5	400
3	210	45	400

實驗結(jié)束后,，待冷卻至60℃以下,，取出消解罐轉(zhuǎn)移至通風(fēng)櫥中緩慢打開，趕酸稀釋后,，樣品可完全消解至澄清透明狀態(tài),。

結(jié)果

實驗選取的半導(dǎo)體薄膜材料樣品，取樣為50 mg,，加入硝酸靜置后,，補加氫氟酸，最高實驗溫度210 ℃,，保溫40 min 左右,，樣品可完全消解。

注意

1,、添加氫氟酸進行實驗后，需進行趕酸處理,，防止氫氟酸對玻璃器皿造成腐蝕,，也可能會對實驗結(jié)果造成影響。

2,、添加硝酸后樣品反應(yīng)劇烈,，實驗過程中應(yīng)緩慢加入或者分多次加入硝酸，同時實驗人員需做好防護,。

信息化社會,、人工智能、萬物互聯(lián),、現(xiàn)代農(nóng)業(yè),、現(xiàn)代醫(yī)療、智能交通,、國防安全……半導(dǎo)體材料市場需求爆發(fā),，加之國產(chǎn)化替代機遇,、超大規(guī)模市場優(yōu)勢……期待中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)騰飛！

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